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我院材料科学与工程专业教研室教师参加磁控溅射镀膜机操作培训会

【作者:吴曙芳 | 来源: | 发布日期:2023-05-26 】

为帮助材料科学与工程新专业教师尽快熟悉新购置的磁控溅射镀膜机操作,5月25日下午,我院邀请到成都中科唯实仪器有限责任公司区域经理蒙志林在我校13110实验室为材料科学与工程专业教研室教师作磁控溅射镀膜机操作培训,王雷、李远勋、顾怀章、董玮及吴曙芳参加。

培训会上,蒙志林首先简述了JCP-350F2磁控溅射镀膜机的工作原理,接着逐一介绍了镀膜机操作控制面板、机械泵、分子泵、进出水管、进出气管、溅射室靶材等结构,并强调氩气纯度应不低于99.999%,然后操作控制面板将溅射室由常温大气压抽真空至10-4a,并以锡为靶材,载玻片为基材,通过设置合适的进气流量、溅射时间等参数,在载玻片表面成功镀锡。最后介绍了SBC-12型离子溅射仪,本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(可溅射金、铂、银、铜、铝等),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器,并示范了此仪器抽真空,充入工作气氛,高压放电靶材溅射的操作。

此次培训,我院教师对实验室新进的JCP-350F2磁控溅射镀膜机的操作规程、安全知识有了全面的了解,学习到了厂家有关磁控溅射镀膜机操作及保养的宝贵经验。新购置的JCP-350F2磁控溅射镀膜机及SBC-12型离子溅射仪将有力促进我校专业课程教学及科研工作。


一审:张  杨

二审:张和平

三审:杨洪能